產品名稱:p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡
產品型號:P31
產品特點:p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅動元件,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動,補償量小,確保偏轉鏡具有良好的運動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期:2021-03-23
1.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡
P31俯仰/偏轉鏡系統(tǒng)可提供光束偏轉角度達50mrad,這種偏轉鏡系統(tǒng)是基于成熟的平行運動學設計,兩個運動軸為垂直共面軸且具有共同的固定點,具有高分辨率及高定位精度等特點。
2.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡
特性
• θx,θy二維偏轉,zui大偏轉角度25mrad • 閉環(huán)定位精度高
• 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應時間
3.二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad
運動方式 | 頻率負載曲線 | 閉環(huán)曲線 |
閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線性關系。 |
高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性 | 結構原理 | |
P31系統(tǒng)內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在成熟的、經過FEA建模分析的鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。 壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性zui小化,允許25mrad的大角度俯仰/偏轉范圍(可將光束偏轉50mrad),且具有非常快的響應速度,在毫秒級范圍。 除了大偏轉角度及高動態(tài),P31還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實現(xiàn)了的位置控制,具有優(yōu)異的重復定位精度,通常為滿行程的0.2%。 | 壓電偏轉鏡(兩軸運動)是基于平行運動學設計,具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(壓電促動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供zui高可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn),采用橋式連接電路控制。 |
可定制鏡片轉接座 | 驅動控制 |
| P31壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,通過控制電壓的大小,對不同的光路距離,可進行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。 |
應用 | 產品測試 |
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• 圖像處理/穩(wěn)定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學、激光掃描、通信 • 光學濾波器/開關 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學、穩(wěn)像 • 干涉
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