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產(chǎn)品名稱:XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm
XP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅(qū)動,具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動控制,高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領(lǐng)域。

更新日期:2021-09-08

XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm的詳細(xì)資料:

XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μmXP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅(qū)動,具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動控制,高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領(lǐng)域。

XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm

特性

• 大行程60μm                   • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間                   • 大承載10kg                   • 1~3維自由組合                   • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.

1~3維平移

產(chǎn)品外觀

直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動示意圖



 大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性  

 傳感器類型  

 頻率負(fù)載曲線  


XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu),優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計(jì),具有高剛度、高頻響等特點(diǎn),剛度可達(dá)40N/μm,空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz,適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用,如電化學(xué)加工等。
XP-62X系列壓電平臺內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓電陶瓷,平臺采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),無磨損、免維護(hù),提供*的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品易于與其他宏動臺產(chǎn)品集成配套,實(shí)現(xiàn)更大行程的精密定位。





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